论文部分内容阅读
对化学气相沉积（ＣＶＤ）法制备ＳｉＣ的热力学进行了系统研究，考察了Ｈ２－ＭＴＳ，Ａｒ－ＳｉＯ－Ｃ，Ｈ２－ＳｉＯ－ＣｘＨｙ，Ｈ２－ＳｉＨ４－ＣｘＨｙ等体系，着重研空了温度、压力、载气量和图对ＣＶＤ法制备ＳｉＣ的实验具有指导作用。
化学气相沉积制备SiC涂层：I.热力学研究
【摘 要】
：
对化学气相沉积（ＣＶＤ）法制备ＳｉＣ的热力学进行了系统研究，考察了Ｈ２－ＭＴＳ，Ａｒ－ＳｉＯ－Ｃ，Ｈ２－ＳｉＯ－ＣｘＨｙ，Ｈ２－ＳｉＨ４－ＣｘＨｙ等体系，着重研空了温度、压力、载气量和图对ＣＶＤ法制备ＳｉＣ的实验具有指导作用。
【机 构】
：
清华大学核能技术设计研究院新材料室
【出 处】
：
化工冶金
【发表日期】
：
1998年3期
其他文献
目的 : 通过对检测结果分析了解轮状病毒发病季节相关性和在儿童中有无年龄差异。为防治提供临床依据。方法 : 统计甘孜藏族自治州人民医院 2018 年整 年轮状病毒粪便抗原检
依照建筑设计防火规范（2014版）中规定,确定了某厂热处理车间生产类别及采取的防火措施,详细介绍了针对热处理车间火灾自动报警系统的设计思路,所选探测器类型及使用特点,探测器
随着新课改的不断推进,在小学低段语文教学中探究趣味化的随课微写作教学方法是激发学生写作兴趣,提升随课微写作教学效率和质量的根本策略。当下,借助于情境化课堂对小学语
碑刻文献具有重要的语言文字学价值,在辞书编纂与出版的过程中,其价值体现在:(1)提供异体字等字形材料;(2)增补碑刻丧葬语词词条;(3)增补义项;(4)增补例证或提前例证。碑刻文
为了解决P2P网络系统信息检索效率低、不能有效解决跨文本搜索，提出节点兴趣域聚类和信息量声誉激励的P2P网络检索机制。在该机制中，首先对网络系统中节点持有的数据信息量进行
为了更全面研究恒值阵风对多轴汽车操纵稳定性的影响，建立了汽车经过恒值阵风过程中侧向力和横摆力矩模型以及多轴汽车多轮转向二自由度模型，应用四阶龙格-库塔方法对模型进行
液压溢流阀等定值压力阀主要靠弹簧进行压力调节。以锥阀芯溢流阀为例，阀芯开启时不易稳定，需要对锥角、弹簧刚度和进口容积腔等参数进行良好的匹配。并且，稳定性容易受系统工况
通过建立某公路边坡模型,采用极限平衡方法,研究锚杆参数变化对边坡的影响。研究结果表明:(1)当锚杆布置方式不变时,锚杆长度的增加,边坡安全系数呈现先增大后基本稳定的趋势
研究了三种材质基底上非晶态镍钨合金电沉积过程中阴极析出氢的影响。结果表明，玻璃碳中氢的吸收不可能发生，钯中氢的扩散和吸收是迅速的，镍的行为介乎其间。在玻璃碳上可以生成
2017年,实用类文本阅读被划入必考题的范畴,由此可见实用类文本阅读越来越受到重视。本文通过对2015年——2019年的贵州高考语文实用类文本阅读的试题进行分析,把握实用类文