用分子束外延法生长的Hg_(1-x)Cd_xTe制备的长波和中波红外光电二极管(下)

来源 :红外与激光技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:meilin116
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四、在MBE HgCdTe中砷扩散的p~+-n同质结通过在HgCdTe外延层中扩散砷形成p~+-n同质结。砷在HgCdTe中是p型浅受主。在预要求的平衡条律下,在不生长任何附加外延层的情况下,进行砷扩散。通过将MBE HgCdTe外延层置于含有溶解砷的Hg溶液中来形成p~+-n结;在380℃~450℃范 Fourth, the p ~ + -n homojunction of arsenic diffusion in MBE HgCdTe diffuses arsenic to form p ~ + -n homojunction in the HgCdTe epitaxial layer. Arsenic is a p-type shallow acceptor in HgCdTe. Under the preconditioned law of equilibrium, arsenic is diffused without the growth of any additional epitaxial layers. The p ~ + -n junction is formed by placing the MBE HgCdTe epitaxial layer in Hg solution containing dissolved arsenic; at 380 ℃ ~ 450 ℃
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