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本文介绍了利用温室四端法测量用剥离光刻技术和不同rf氧化参量制备的一系列四端Pb-合金隧道结电阻，反映结的氧化物势垒厚与氧化参量的关系，提供选定rf氧化参量的依据，文中介绍了国外概况，本实验方法的原理，样品制备和测试结果与分析。
Pb—合金隧道结rf氧化参量选定的实验方法
【摘 要】
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本文介绍了利用温室四端法测量用剥离光刻技术和不同rf氧化参量制备的一系列四端Pb-合金隧道结电阻，反映结的氧化物势垒厚与氧化参量的关系，提供选定rf氧化参量的依据，文中介绍
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,中国科学院电子学研究所,北京,北京
【出 处】
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低温与超导
【发表日期】
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1990年1期
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