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来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
采用磁控溅射方法制备了周期数分别为10,30,50和75的Ni/Ti多层膜,利用X射线掠入射反射测量了多层膜表面和界面的状态,并用原子力显微镜测量了多层膜的表面粗糙度,研究了不同
【作 者】
:
潘磊
朱京涛
王晓强
蒋励
李浩川
徐敬
张众
王占山
陈玲
【机 构】
:
同济大学精密光学工程技术研究所
【出 处】
:
强激光与粒子束
【发表日期】
:
2010年6期
【关键词】
:
中子超反射镜
粗糙度
原子力显微镜
X射线反射
neutron supermirror
roughness
atomic force microscope
【基金项目】
:
国家自然科学基金项目(10825521 10876023 10675091), 国家高技术发展计划项目, 上海市科委资助课题(07DZ22302)
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