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提出了一种叠片式柔性铰链导轨工作台。可以在保持柔性铰链微位移工作台高直线度的前提下．大幅度提高行程。同时还保持了柔性铰链微位移工作台无机械爬行现象的优点。采用压电陶瓷电动机作为叠片式柔性铰链工作台的驱动器。压电陶瓷电动机应用超声波驻波或行波驱动，具有定位精度高、行程大、频响高等优点．驱动分辨率可达20nm以下。