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【摘 要】
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本文利用数值模拟技术研究了PVT法生长SiC单晶的热场分布,分析了加热频率对热场分布和系统加热效率的影响。结果表明,坩埚发热密度随着加热频率的改变而变化,由此导致热场分
【机 构】
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山东天岳先进材料科技有限公司
【出 处】
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信息周刊
【发表日期】
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2019年20期
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