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综述多晶硅尾气回收工艺和方法,探讨新型膜分离技术在多晶硅尾气回收中的应用前景。
多晶硅尾气回收工艺研究进展
【摘 要】
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综述多晶硅尾气回收工艺和方法,探讨新型膜分离技术在多晶硅尾气回收中的应用前景。
【机 构】
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江苏中能硅业科技发展有限公司,南京大学固体微结构物理国家重点实验室
【出 处】
：
氯碱工业
【发表日期】
：
2011年9期
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