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介绍了圆柱销的无接触精密检测系统，阐述了其光学系统，信号处理系统的工作原理，采用二次微分法提高了系统的分辨精度，实际分辩率≤３μｍ。给出了系统的光学系统、激光扫描系统的设计参数。本系统不仅适用于圆柱销的在线外接触精密检测亦可直接应用于其他工件的在线精密检测。
圆柱销在线激光扫描检测仪
【摘 要】
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介绍了圆柱销的无接触精密检测系统，阐述了其光学系统，信号处理系统的工作原理，采用二次微分法提高了系统的分辨精度，实际分辩率≤３μｍ。给出了系统的光学系统、激光扫描系统的设计
【机 构】
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郑州工业高等专科学校
【出 处】
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郑州纺织工学院学报
【发表日期】
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1996年3期
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