【摘 要】
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提出并制作了基于硅(Si)基双微环谐振腔的高灵敏度电流传感器。所设计的Si基双微环谐振腔的输出功率对波导内传输TE模的有效折射率变化非常敏感,探测由有效折射率变化造成的
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提出并制作了基于硅(Si)基双微环谐振腔的高灵敏度电流传感器。所设计的Si基双微环谐振腔的输出功率对波导内传输TE模的有效折射率变化非常敏感,探测由有效折射率变化造成的输出功率改变可实现高灵敏度微弱电流传感。在设计的Si基微环上集成了具有较高加热效率的TiN电阻,当有电流通过该电阻时,电阻发热并改变波导内传输TE模的有效折射率,最终造成微环输出功率改变。通过光功率计检测不同输入电流下微环输出功率,即可实现对电流的测量。实验结果表明,制作的微环传感器在测试范围为0~6mA时,灵敏度高达1 575dBm/A,线性相关系数R2大于0.999。
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