ICP光源中射频功率测量装置的设计

• 作 者: 王超 金星 石宝松 杜江
• 机 构: 中国地质大学（武汉）机械与电子信息学院,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,北京海光仪器公司
• 出 处: 化工自动化及仪表
• 发表日期: 2010年5期
• 关键词: ICP光源 功率测量 射频 ICP source power measurement radio frequency
• 基金项目: 国家“十一五”科技支撑计划项目（2006BAK03A01）

阐述ICP光源中射频功率测量的意义,提出了测量范围为100~1 500 W,频率为27.12 MHz的功率测量装置的设计方案。详细分析了射频功率测量装置中的电路设计,包括采样互感器、功率合成电路、幅度相位分析电路和移相电路,并给出了判断ICP光源负载状态和性质的方法。在实验中,利用BIRD43型功率计和BIRD4304A型功率计对射频功率测量装置进行了参数校准。