【摘 要】
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据 Cleanroom Operations Newsletter 报道,PFO(Particle Fallout)光度计能快速准确地测出散落在工件(晶片)表面的粒子总数,适于在1000级的洁净室中采用,并且价格较廉。PFO
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据 Cleanroom Operations Newsletter 报道,PFO(Particle Fallout)光度计能快速准确地测出散落在工件(晶片)表面的粒子总数,适于在1000级的洁净室中采用,并且价格较廉。PFO 自动光度计测量是一高敏感光散射探测的自动测量过程。在光度计内有一精加工过和擦得很光的黑色玻璃盘,搜集沉降物的取样,以确定其光线入射衰减系数,其结果用“PPM”来表示,能在仪器的数字指示仪上读出。另外在里面安装有显微镜,允许人们肉眼观察检查搜集在采样盘上的颗粒,能得到封闭检查放大的结果。
According to Cleanroom Operations Newsletter, the PFO (Particle Fallout) Photometer can quickly and accurately determine the total number of particles scattered on the surface of a workpiece (wafer), suitable for use in a Class 1000 clean room and at a lower cost. PFO automatic photometric measurement is a highly sensitive light scattering detection of automatic measurement process. In the photometer there is a polished and polished black glass plate, collect the sediment sampling to determine its light incident attenuation coefficient, the result with “PPM ” to indicate that in the instrument’s digital indicator Read out In addition to the installation of a microscope inside, allowing people to observe the visual inspection of particles collected in the sampling plate, can get a closed check to enlarge the results.
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