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研制出一台由双激发源、双二次全反射光路、样品传输和真空系统、数据获取和分析系统组成的小型低功率高分析灵敏度的全反射Ｘ荧光分析仪。在Ｃｕ靶、Ｍｏ靶和Ｗ靶（Ｌ线系）Ｘ光管激发下，分析灵敏度依次为０．００７ｎｇ、０．０５ｎｇ和０．０８ｎｇ，采用特殊的全反射光路后，在低功率运行条件下，同样能达到高的分析灵敏度，使体积小型化成为可能。两套激发源及相应的两套全反射光路的切换使用，对Ｚ≥１４的元素均可进行有效的分析。对装置特点、性能测试及在不同领域的应用进行了介绍和讨论。