【摘 要】
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本文介绍的自制离子减薄仪,主要是改进了试样台的设计,并对离子枪、照明监视系统等也进行了简化。经改进后的试样台不仅避免了试样台支架对离子束的遮挡,而且使更换试样的操
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本文介绍的自制离子减薄仪,主要是改进了试样台的设计,并对离子枪、照明监视系统等也进行了简化。经改进后的试样台不仅避免了试样台支架对离子束的遮挡,而且使更换试样的操作十分简便,并保证试样不受损伤。同时还介绍了离子减薄仪在制备透射电镜样品、扫描电镜、X-射线微区分析样品离子抛光和清洗方面的一些应用。
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