【摘 要】
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本文主要介绍一种用TP—801型单板计算机控制二次精缩机制掩模的基本原理及其实现的方法.采用微机控制具有精度高,操作系统工作稳定可靠,保证掩摸制作的高质量,同时可使精缩
【机 构】
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西安交通大学信控系,西安交通大学信控系
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本文主要介绍一种用TP—801型单板计算机控制二次精缩机制掩模的基本原理及其实现的方法.采用微机控制具有精度高,操作系统工作稳定可靠,保证掩摸制作的高质量,同时可使精缩机电气控制系统的电路结构简单,体积小,成本低以及操作简便等优点.该微机控制系统可广泛地应用于晶体管、集成电路制造工厂和科研单位.
This paper mainly introduces a kind of basic principle and its realization method of using TP-801 single-board computer to control the secondary shrinking mechanism mask.The microcomputer control has the advantages of high precision, stable and reliable operating system and high quality , At the same time, it can make the structure of the electric control system of the electric compressor simple, small size, low cost and easy operation etc. The microcomputer control system can be widely used in transistors, integrated circuit manufacturing factories and research institutes.
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