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在半导体芯片制造中必须保证组合设备运行时不存在死锁，本文研究了多组合设备的无死锁运行问题。引入了着色令牌和受控变迁，用面向资源petri网对多组合设备加工晶圆的过程建模。所建模型结构简洁紧凑，不但能描述多组合设备加工晶圆的稳态阶段，还能描述初始暂态、趋停暂态阶段。根据模型，分析了Petri网的活性，提出了死锁避免的控制策略。