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来源 :现代制造 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
RSF公司最新推出的MS20系列光栅尺采用最新单场扫描技术,精度更高,速度更快,抗污染能力更强。MS20系列光栅尺具有以下主要性能:扫描头40μm光栅刻度,系统分辨率为2μm到0.1μm;安装
【出 处】
:
现代制造
【发表日期】
:
2008年42期
【关键词】
:
光栅尺
RSF
奥地利
抗污染能力
电子
位移速度
扫描技术
高精度
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