【摘 要】
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用传统的ＴｉＣｌ４－Ｈ２－Ｎ２进行了ＰＣＶＤＴｉＮ处理，存在炉体和真空系统腐蚀及氯元素进入涂层等问题，作者采用金属有机物ＴＰＴ（Ｃ３Ｈ７Ｏ）４Ｔｉ）或ＴＥＴ（Ｃ２Ｈ５Ｏ）４Ｔｉ）代替ＴｉＣｌ４作为供钛源进行ＰＡＭＯＣＶＤ处理，研究了不同工艺参数对涂层性能的影响，试验表明，Ｈ１３铝型材挤压模及
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用传统的ＴｉＣｌ４－Ｈ２－Ｎ２进行了ＰＣＶＤＴｉＮ处理，存在炉体和真空系统腐蚀及氯元素进入涂层等问题，作者采用金属有机物ＴＰＴ（Ｃ３Ｈ７Ｏ）４Ｔｉ）或ＴＥＴ（Ｃ２Ｈ５Ｏ）４Ｔｉ）代替ＴｉＣｌ４作为供钛源进行ＰＡＭＯＣＶＤ处理，研究了不同工艺参数对涂层性能的影响，试验表明，Ｈ１３铝型材挤压模及标准件冲头等采用ＰＡＭＯＣＶＤ处理后寿命可提高１－２倍，并解决了设备被腐蚀的问题。
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