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论述了电子束扫描正交图形簇产生畸变的非线性校正过程.通过几种典型的图形分析研究,推导出有关的校正函数,并运用计算机进行了该畸变图形的仿真处理及验证.
正交图形簇畸变的校正研究及计算机仿真处理
【摘 要】
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论述了电子束扫描正交图形簇产生畸变的非线性校正过程.通过几种典型的图形分析研究,推导出有关的校正函数,并运用计算机进行了该畸变图形的仿真处理及验证.
【机 构】
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山东大学南校区控制科学与工程学院
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2001年2期
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