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提出用泰曼干涉仪检测衍射受限的显微物镜，将实验中拍摄到的干涉图形数字化后，经计算机处理，用Ｚｅｎｉｋｅ多项式拟合干涉图，可获得各采样点波像差、峰谷误差及均方根误差和各种几何像差．
显微物镜干涉图的计算机处理
【摘 要】
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提出用泰曼干涉仪检测衍射受限的显微物镜，将实验中拍摄到的干涉图形数字化后，经计算机处理，用Ｚｅｎｉｋｅ多项式拟合干涉图，可获得各采样点波像差、峰谷误差及均方根误差和各种几何像差．
【机 构】
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华中理工大学光电子工程系
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1996年01期
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