【摘 要】
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一、前言 利用朗缪探针来探测等离子体参数及其分布规律,既简便又有效,其要求是探针及其传动机构的引入不要影响或尽量小影响装置的真空度以及等离子体行为。 等离子体参数
【机 构】
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中国科学技术大学近代物理系,中国科学技术大学近代物理系,中国科学技术大学近代物理系 安徽 合肥rrrrrrrrn,安徽 合肥rrrrrrrrn,安徽 合肥
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一、前言 利用朗缪探针来探测等离子体参数及其分布规律,既简便又有效,其要求是探针及其传动机构的引入不要影响或尽量小影响装置的真空度以及等离子体行为。 等离子体参数的空间分布靠移动探针的几何位置测出。探针移动的最简易的方法是手动。它的缺点不仅在抽插探针的过程中影响到装置的真空度,而且对于由扰动引起的某些随时
Preface The use of the Langmuir probe to detect plasma parameters and their distribution is both simple and effective. The requirement is that the introduction of the probe and its transmission should not affect or minimize the vacuum and the plasma behavior of the device. The spatial distribution of plasma parameters is determined by the geometry of the moving probe. The easiest way to move the probe is by hand. Its disadvantages not only affect the degree of vacuum of the device during plugging of the probe, but also for certain occasions caused by disturbances
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