【摘 要】
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提出了能够精确测量非球面反射镜或透境形状和表面误差的动态波带片干涉仪(DZPI)。通过在微调过程中改变照明光的波长,DZPI产生的一系列条纹几乎是连续变化的干涉图形。因此,
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提出了能够精确测量非球面反射镜或透境形状和表面误差的动态波带片干涉仪(DZPI)。通过在微调过程中改变照明光的波长,DZPI产生的一系列条纹几乎是连续变化的干涉图形。因此,即使干涉条纹的最大级次大于100,也能识别出。根据这些干涉图,就可用计算机精确地算出测试条件下光学仪器的形状和表面误差。DZPI的有效性可用一简单实验来证实。
A dynamic zone plate interferometer (DZPI) capable of accurately measuring aspheric mirrors or transmural shapes and surface errors is proposed. By changing the wavelength of the illumination light during fine tuning, a series of stripes created by DZPI are almost continuously changing interference patterns. Therefore, even if the maximum number of interference fringes is more than 100, it can be recognized. From these interferograms, the shape and surface error of optical instruments under test conditions can be accurately calculated using a computer. The validity of DZPI can be confirmed by a simple experiment.
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