【摘 要】
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利用高温共烧陶瓷(HTCC)技术中的叠片、高温烧结工艺获得了白色致密的氧化铝陶瓷基板,并结合丝网印刷、后烧工艺在该基板上形成了平面螺旋电感图形,制备了一种陶瓷基平面螺旋
【机 构】
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中北大学电子测试技术重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,重庆大学新型微纳器件与系统技术国家重点学科实验室
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利用高温共烧陶瓷(HTCC)技术中的叠片、高温烧结工艺获得了白色致密的氧化铝陶瓷基板,并结合丝网印刷、后烧工艺在该基板上形成了平面螺旋电感图形,制备了一种陶瓷基平面螺旋电感,并在室温至800℃的温度范围内对其进行了高温性能测试.测试结果表明,当测试频率低于电感的自谐振频率时,电感的特性参数如电感、等效串联电阻以及Q值随温度、频率均发生了不同程度的改变.电感的自谐振频率对温度的平均变化量为-1.97kHz/℃,Q值最高为10.5,最佳工作频段为16～27 MHz.它是一种可应用于高温恶劣环境中的无源元件.
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