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利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备ZnO薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律,对等离子体在空间膨胀的物理机制,进行了深入的讨论。
脉冲激光沉积ZnO薄膜动力学过程模拟
【摘 要】
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利用有限差分法对脉冲激光沉积(PLD)技术制备ZnO薄膜过程中等离子体在等温和绝热两个阶段的速度演化进行了模拟,并给出了其中主要粒子在空间的具体演化规律,对等离子体在空间
【机 构】
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江西蓝天学院
【出 处】
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海南师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2008年2期
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