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【摘 要】
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本文详细介绍了一种单片硅平面振动式微型加速计的结构及其工作原理，分析了在其设计制造过程中所需要考虑的各个因素，最后还介绍了其工艺实现方法。
【机 构】
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东南大学电子工程系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1997年4期
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