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对半导体制造系统调度难点，分两步予以解决：第一步，提出三种策略解决系统建模问题，包括基于资源的Petri网模型构建模式，对系统结构建模；引入整合性定义方法对系统功能建模；以及通过多种变迁种类的引入实现对系统行为建模．第二步，在此模型基础上，引入蚁群优化算法对模型求调度优化解．与仿真结果的对比显示此方案取得了明显效果．