【摘 要】
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本文着重研究ZnO薄膜在MgO(011)衬底上的生长行为。利用分子束外延法(MBE)在MgO(110)衬底上生长ZnO薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)表征了其表面形貌,利用X
【机 构】
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厦门大学物理系福建省半导体材料及应用重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(编号11204253),教育部博士点基金(编号20100121120026),厦门大学基础创新科研基金(中央高校基本科研业务费专项资金)(编号CXB2011029)的资助
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本文着重研究ZnO薄膜在MgO(011)衬底上的生长行为。利用分子束外延法(MBE)在MgO(110)衬底上生长ZnO薄膜,通过原子力显微镜(AFM)和扫描电子显微镜(SEM)表征了其表面形貌,利用X射线光电子能谱学(XPS)对薄膜的组分进行深度分层剥析,并采用透射谱(XL)研究了其光学性质。结果显示,薄膜以三维模式生长,而且薄膜表面平整度受到衬底温度的影响;而所生长的薄膜均显示了ZnO透射谱的特征峰,特征峰的位置几乎不受衬底温度的影响。不同生长时间段的薄膜结构的演变过程也通过原位的反射高能电子衍射(RH
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