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分析使用多种透镜组合成补偿镜对非球面进行背部检验,在各种传统检测方法的基础上,研究了一种新的检测方法——使用二元光学元件（CGH）作为补偿镜来检测大口径凸非球面,从而降低加工精度和减小系统体积.讨论了二元光学的原理和设计方法,并给出设计实例.
二元光学在凸非球面零件检测中的应用
【摘 要】
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分析使用多种透镜组合成补偿镜对非球面进行背部检验,在各种传统检测方法的基础上,研究了一种新的检测方法——使用二元光学元件（CGH）作为补偿镜来检测大口径凸非球面,从而降低
【机 构】
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东北师范大学计算机科学学院,长春理工大学计算机学院
【出 处】
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东北师大学报：自然科学版
【发表日期】
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2007年3期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（60473042,60573067）
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