刀口干涉仪

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一种使用刀口检验和干涉检验技术的刀口干涉仪被研制成功。其干涉仪采用了径向剪切系统,因此大尺寸光学元件容易被检测。实验结果表明因这台仪器检验大尺寸光学元件面形的精度达λ/20 A knife-edge interferometer using knife-edge inspection and interference inspection techniques was developed. Its interferometer uses a radial shear system, so large-size optical components can be easily detected. The experimental results show that the accuracy of this large-size optical element is λ / 20 due to the inspection of this instrument
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