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利用磁控溅射法在SiC纤维上沉积Ti-6Al-4V涂层制备成先驱丝.在功率密度一定时,沉积速率和工作气压有关.环境温度对涂层表面形貌及涂层与纤维结合的影响较大.涂层成分接近Ti-6Al-4V,沿涂层厚度方向成分分布均匀.涂层中柱晶晶粒尺寸为20-50 nm,为Q-Ti固溶体.
溅射参量对SiC涂层Ti-6Al-4V显微组织的影响
【摘 要】
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利用磁控溅射法在SiC纤维上沉积Ti-6Al-4V涂层制备成先驱丝.在功率密度一定时,沉积速率和工作气压有关.环境温度对涂层表面形貌及涂层与纤维结合的影响较大.涂层成分接近Ti-6
【机 构】
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中国科学院金属研究所,沈阳,110016
【出 处】
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金属学报
【发表日期】
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2004年4期
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