【摘 要】
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据美国航天公司电子研究室报道,他们最近研制出一种价格低廉、加热均匀性优良、适用于MOCVD系统的新型加热器——石英包封加热器,其结构示于图1、2将这种加热器用于MOCVD系统
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据美国航天公司电子研究室报道,他们最近研制出一种价格低廉、加热均匀性优良、适用于MOCVD系统的新型加热器——石英包封加热器,其结构示于图1、2将这种加热器用于MOCVD系统,制备
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