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在硅和铁基底上同时进行ＣＶＤ金刚石的沉积，利用硅基底上的金刚石成核感应金刚石在铁基底上直接成核。研究表明，和铁基底上不同的沉积过程导致了铁基底上碳了表面扩散的加强，从而了ＣＶＤ金刚石在铁基底上的直接成核。表面扩散对ＣＶＤ金刚石成核有重要影响。
铁基底上扩散感应的CVD金刚石成核
【摘 要】
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在硅和铁基底上同时进行ＣＶＤ金刚石的沉积，利用硅基底上的金刚石成核感应金刚石在铁基底上直接成核。研究表明，和铁基底上不同的沉积过程导致了铁基底上碳了表面扩散的加强，从而了ＣＶＤ金
【机 构】
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湘潭大学物理系
【出 处】
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材料开发与应用
【发表日期】
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1999年6期
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