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采用热壁低压ＭＯＣＶＤ方法制备出了ＴｉＯ２纳米粉末。采用Ｒａｍａｎ散射、Ｘ射线衍射和透射电子显微镜等技术研究了载气流量稳定性、沉积温度和载气流量和载气影响规律。研究结果表明，当沉积温度为６００℃－１０００℃时，ＴｉＯ２粉末均为锐钛矿结构，载气流量不稳定容易使ＴｉＯ２粉末均为锐钛结构，载气流量不稳定容量使ＴｉＯ２纳米粉末的平均颗粒尺寸减小，可以使粒度布更加均匀。