【摘 要】
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本文对改进后的切片机定向机构的误差作了全面的分析,推导出了误差公式并计算了可能出现的最大误差值。 《半导体设备》1986年第一期发表了任继东同志的文章《切片机定向方法
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本文对改进后的切片机定向机构的误差作了全面的分析,推导出了误差公式并计算了可能出现的最大误差值。 《半导体设备》1986年第一期发表了任继东同志的文章《切片机定向方法及定向机构的改进》(以下简称《改进》)一文。本文对其中的误差分析再作补充。
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