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建立起一台加热低电阻率半导体晶片的行波场谐振器及加热器,实际微波电路测试结果与理论分析相当一致,对能够加热直径达150mm晶片的加热器也进行了研究,另外还给出了温度分布的理论推算及实际温度分布的测量结果,
加热低电阻率半导体晶片的微波行波谐振器
【摘 要】
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建立起一台加热低电阻率半导体晶片的行波场谐振器及加热器,实际微波电路测试结果与理论分析相当一致,对能够加热直径达150mm晶片的加热器也进行了研究,另外还给出了温度分布
【机 构】
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北京无线电测量研究所,亚利桑那州立大学美国
【出 处】
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微波学报
【发表日期】
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1990年4期
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