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研究了RFI－V法的基本原理及减少测量非线性的途径，RFI－V法的电路结构与实现方法，射频阻抗分析误差校准，补偿模型和频率内插算法及其软件实现，研究了基于锁相同步，分时复用公共信号接收变换处理通道的数字化阻抗分析技术以及关键电路的设计实现，提出了一种基于直接中频采样，数字移相对消的镜象混频器方案，具有很好的混频线形特性及极高的镜象组合干扰抑制能力，简化了系统结构，进行了计算机仿真，研究了一种基于直接射频同步采样，预测式自适应迭代反馈技术的射频矢量信号测试方法，可以有效改善系统线形特性，拓展测量动态范围，提