【摘 要】
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半导体器件生产,在真空测量仪器方面,多配置热偶和电离规管作传感器的复合真空计,热阻真空计和磁场放电真空计亦有应用。根据工厂生产的特点:仪器用量大,连续开机时间长,所
【机 构】
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北京半导体器件四厂,北京半导体器件四厂,北京半导体器件四厂,
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半导体器件生产,在真空测量仪器方面,多配置热偶和电离规管作传感器的复合真空计,热阻真空计和磁场放电真空计亦有应用。根据工厂生产的特点:仪器用量大,连续开机时间长,所以仪器易损率大,就地及时维修和校正工作是很重要的现实问题。工厂本身也应定期或不定期作维护性粗校。现主要以北京真空仪表厂生产的Fzh-1型复合真空计为例,简要介绍我厂的使用和维修经验。
Semiconductor devices, vacuum gauges, multi-configuration thermocouple and ionization gauge sensors for the composite vacuum gauge, thermal resistance vacuum gauge and magnetic field discharge vacuum gauge are also applications. According to the characteristics of the factory production: large amount of equipment, continuous boot time, so fragile instrument, on-site timely maintenance and calibration work is an important practical issue. The factory itself should also be regularly or irregularly maintained as a crude school. Now mainly in Beijing Vacuum Instrument Factory Fzh-1-type composite vacuum gauge, for example, a brief introduction of our plant’s use and maintenance experience.
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