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微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）与光器件融合于一体的微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）成为ＭＥＭＳ研究的一个重要方向，它将会给光器件的发展带来新的飞跃，而光系统因无需力的输出，正是ＭＥＭＳ的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统，最后提出一种新型的微光学开关。
微型光机电系统
【摘 要】
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微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）与光器件融合于一体的微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）成为ＭＥＭＳ研究的一个重要方向，它将会给光器件的发展带来新的飞跃，而光系统因无需力的输出，正是ＭＥＭＳ的一个理想的应用领域。本文主要
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,名古屋大学微系统工学科
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1998年10期
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