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本文介绍了一个根据RBS实验谱计算多元素样品表面层原子浓度的程序。讨论了计算模型的特征、程序的功能和应用范围。计算中,将被分析样品表示成一系列等厚的小薄层,从表面开始逐层计算。因此,可以很容易地得到多元素样品内的浓度-深度分布轮廓。本程序用BASIC语言编制并可在IBM微机上运行。操作时实现人机对话。现已有几个规范程序可供使用。这些规范程序既简单又可信。