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<正> 1 前言化学蒸镀(Chemical Vapour Deposition,简称CVD)技术愈来愈多地用来制造陶瓷化合物镀层,以改变金属、陶瓷或聚合物的表面性质,使之能用于某种特定或严格的环境。碳化物、氮化物、氧化物、硅化物、硼化物等,已经被蒸镀在各种各样的待镀制品上,用于解决高温、磨损、腐蚀、