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采用新型等离子体光谱仪（ＩＲＩＳ／ＨＲ型），对同时测定面钢、低合金钢中Ｓｉ，Ｍｎ，Ｐ，Ｖ，Ｔｉ，Ｃｕ，Ｃｏ，Ｎｉ，Ｃｒ，Ｍｏ，Ｍｇ，Ａｌ１２个元素的最佳分析参数进行了试验。研究了分析谱线、背景校正点、高叔功率、载气压力、试样提升量和辅助气体流量对分析结果的影响。将试验所选择的分析参数应用于标准样品的分析，结果表明该方法简便易行、快速、准确。