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采用多因素试验设计法对TC4钛合金高频渗氮工艺的试验方案进行了设计。通过对试验数据的方差分析和回归处理,得到了三个工艺参数对渗氮层的两个主要指标——表面硬度和渗层深度影响的显著程度、硬度梯度曲线的函数表达式。通过对数据结构式中各参数的估计。进一步研究了不同因子、水平变化对表面硬度和层深的影响规律和程度。