【摘 要】
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利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备制备了硼掺杂CVD金刚石,采用三维电磁仿真软件和飞秒激光加工系统优化设计并研制出用于W波段折叠波导行波管的硼掺杂CVD金刚石衰减器,采用矢量网络分析仪分别测试了硼掺杂CVD金刚石的介电性能和衰减器的驻波系数和传输系数。结果表明硼掺杂CVD金刚石在W波段介电常数在7.49~8.43之间,损耗角正切≥0.26;硼掺杂CVD金刚石衰减器在85~110 GHz范围内驻波比小于1.10,S 21<-50 dB。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第十二研究所微波电真空器件国家级重点实验室
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利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)设备制备了硼掺杂CVD金刚石,采用三维电磁仿真软件和飞秒激光加工系统优化设计并研制出用于W波段折叠波导行波管的硼掺杂CVD金刚石衰减器,采用矢量网络分析仪分别测试了硼掺杂CVD金刚石的介电性能和衰减器的驻波系数和传输系数。结果表明硼掺杂CVD金刚石在W波段介电常数在7.49~8.43之间,损耗角正切≥0.26;硼掺杂CVD金刚石衰减器在85~110 GHz范围内驻波比小于1.10,S 21<-50 dB。
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2O
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2O
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