【摘 要】
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硅烷(SiH_4)是当前发展电子工业所必须的重要特种气体之一。尤其是在化学气相淀积技术及外延技术中得到了普遍的应用。八十年代以来,由硅烷制作的非晶硅太阳能电池、氮化硅
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硅烷(SiH_4)是当前发展电子工业所必须的重要特种气体之一。尤其是在化学气相淀积技术及外延技术中得到了普遍的应用。八十年代以来,由硅烷制作的非晶硅太阳能电池、氮化硅高温陶瓷及非晶硅光电材料的发展,使硅烷得到了更广泛的应用。
Silane (SiH_4) is currently one of the important specialty gases necessary for the development of the electronics industry. Especially in the chemical vapor deposition technology and epitaxial technology has been widely used. Since the 1980s, the development of amorphous silicon solar cells made of silane, silicon nitride high temperature ceramics and amorphous silicon photoelectric materials has made silane more widely used.
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