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本文提出了一种新的方法──“三脉冲DLTS”法,用于测量深能级的热俘获截面,目的在于消除使测量产生很大误差的边缘区效应的影响,最后用这种方法,对AlGaAs:Si中DX—中心的电子热俘获截面进行了测量,结合考虑大的深能级浓度这一因素,通过计算机的拟合过程,给出了非常令人满意的结果。
消除边缘区效应的“三脉冲”DLTS法及对DX—中心俘获过程...
【摘 要】
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本文提出了一种新的方法──“三脉冲DLTS”法,用于测量深能级的热俘获截面,目的在于消除使测量产生很大误差的边缘区效应的影响,最后用这种方法,对AlGaAs:Si中DX—中心的电
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所北京,北京,北京
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1990年1期
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