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为了提高柔性压力传感器的灵敏度和稳定性,对压力传感器结构设计、结构参数及制作工艺进行了研究,并制作了两种传感器样片。测量结果表明,在压电材料相同的情况下,不同的结构、尺寸参数及制作流程对柔性压力传感器的灵敏度、响应时间和循环工作稳定性都有一定的影响。
柔性压力传感器的研制
【摘 要】
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为了提高柔性压力传感器的灵敏度和稳定性,对压力传感器结构设计、结构参数及制作工艺进行了研究,并制作了两种传感器样片。测量结果表明,在压电材料相同的情况下,不同的结构
【机 构】
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北方工业大学机械与材料工程学院
【出 处】
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机械工程师
【发表日期】
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2020年10期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51375017)
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