高频溅射制备聚全氟乙丙烯三防膜

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为使不耐潮湿的光学元件,特别是化学稳定性差的(如一些高折射率)光学玻璃,能在恶劣环境下使用,我们采用了高频溅射的方法制备聚全氟乙丙烯膜;我们的想法是在光学玻璃表面或光性膜层上产生一层完整致密的薄膜,使它能抵抗恶劣环境的侵袭,又不影响光学元件的透射率。据有关文章可知,在含有反应性气体,惰性气体的放电仪器的电极上能够产生聚合物。电子放电是可以用静电、无线电频 In order to make moisture-resistant optical components, especially poor chemical stability (such as some high refractive index) optical glass, can be used in harsh environments, we use high-frequency sputtering method to prepare poly-FEP; we The idea is to create a complete, dense film on the optical glass surface or on the light film, making it resistant to harsh environments without affecting the optics’ transmissivity. According to related articles, it is known that a polymer can be produced on the electrode of a discharge apparatus containing a reactive gas and an inert gas. Electronic discharge can be static, radio frequency
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