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超低速提拉装置是提拉法生长晶体的关键设备，长期稳定、精确低速运行是超低速提拉装置系统设计的重要指标。针对提拉装置低速运行时摩擦转矩的不确定性带来的速度不稳定问题，选择带预紧力的精密滚珠丝杆副和导轨副设计提拉装置；通过负载转矩和转动惯量的计算，合理选择伺服电机，且速度控制回路采用变增益的控制方案。系统设计方案确保了提拉装置的速度跟踪精度，提拉装置实时运行数据表明，速度跟踪误差小于1％，其性能可满足生产要求。