【摘 要】
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采用反应磁控溅射法,通过控制中间层沉积时的氧气流量,在聚对苯二甲酸乙二醇酯基底上制备了ZnO/Al（O）/ZnO薄膜,研究了氧气流量对Al（O）薄膜的微观形貌、表面粗糙度,以及对ZnO/Al（O）/
【机 构】
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山东大学材料科学与工程学院,昌吉学院物理系
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采用反应磁控溅射法,通过控制中间层沉积时的氧气流量,在聚对苯二甲酸乙二醇酯基底上制备了ZnO/Al（O）/ZnO薄膜,研究了氧气流量对Al（O）薄膜的微观形貌、表面粗糙度,以及对ZnO/Al（O）/ZnO薄膜光学和电学性能的影响。结果表明：随着氧气流量的增加,铝在ZnO薄膜表面由三维岛状生长转变为二维层片状生长,Al（O）薄膜表面粗糙度先增大后减小再增大,当氧气流量为6.7×10^-3cm^3·s^-1时最小;随着氧气流量的增加,ZnO/Al（O）/ZnO薄膜在较长波长范围内的透过率增
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