【摘 要】
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采用有限差分法 ,对有聚焦极的垂直双门结构的 FEA进行了轴对称三维模拟计算 ,得到发射微尖附近的电位和电子束运动分布图。分别讨论了聚焦极电位、聚焦孔以及栅极电位对发射
【机 构】
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清华大学电子工程系!北京100084,清华大学电子工程系!北京100084,温州师范学院物理系!浙江温州325003,清华大学电子工程系!北京100084
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采用有限差分法 ,对有聚焦极的垂直双门结构的 FEA进行了轴对称三维模拟计算 ,得到发射微尖附近的电位和电子束运动分布图。分别讨论了聚焦极电位、聚焦孔以及栅极电位对发射的电子束影响。聚焦电位相对栅极越负 ,聚焦作用越强。减小聚焦孔径影响了大的发散角的电子 ,但对聚焦的作用不如电位改变明显。栅极电位基本不影响电子的轨迹 ,仅改变了发射的电子的多少。结论与实验基本一致。
Finite-difference method was used to simulate the FEA with vertical pole and two-point structure with focusing electrode. The distribution of potential and electron beam near the emission tip were obtained. The influences of the focusing potential, the focusing aperture and the gate potential on the emitted electron beam are discussed respectively. The more the focus potential is negative than the gate, the stronger the focusing effect. Reducing the focusing aperture affects electrons at large divergence angles, but does not contribute significantly to focusing as the potential changes significantly. Gate potential basically does not affect the trajectory of electrons, only changed the number of emitted electrons. Conclusions and experiments are basically the same.
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