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在几种磨削条件下，采用不同粒度金刚石石砂轮对工程陶瓷材料进行了延性域磨削，着重研究了磨粒尺寸和各磨削参数对陶瓷材料磨削过程中脆性／延性转换的和各磨削转换的影响，并用微粉金刚石砂轮（Ｗ２．５）进行ＺｒＯ２、Ｓｉａｌｏｎ和Ｓｉ３Ｎ４陶瓷的超精密磨削，获得表面粗糙度Ｒａ３，４，８ｎｍ的超光滑镜面最后采用ＳＴＭ对上述精密镜面的形貌和细节进行了观测，为解释延性域磨削的表面形成机理提出了依据。